Monolayer MoS 2 Enabled Single-Crystalline Growth of AlN on Si(100) Using Low-Temperature Helicon Sputtering

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	ACS applied nano materials 2019-04, Vol.2 (4), p.1964-1969
Hauptverfasser:	Hsu, Wei-Fan, Lu, Li-Syuan, Kuo, Po-Chun, Chen, Jie-He, Chueh, Wei-Chen, Yeh, Han, Kao, Hui-Ling, Chen, Jyh-Shin, Chang, Wen-Hao
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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