Measuring Local Atomic Structure Variations through the Depth of Ultrathin (<20 nm) ALD Aluminum Oxide: Implications for Lithium-Ion Batteries

Measuring Local Atomic Structure Variations through the Depth of Ultrathin (<20 nm) ALD Aluminum Oxide: Implications for Lithium-Ion Batteries

Understanding the atomic structure of ultrathin (

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:ACS applied nano materials 2022-09, Vol.5 (9), p.12582-12591
Hauptverfasser: Paranamana, Nikhila C., Gettler, Ryan, Koenig, Henry, Montgomery-Smith, Stephen, He, Xiaoqing, Young, Matthias J.
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:Understanding the atomic structure of ultrathin (
ISSN:2574-0970
2574-0970
DOI:10.1021/acsanm.2c02312