Al 2 O 3 Dot and Antidot Array Synthesis in Hexagonally Packed Poly(styrene- block -methyl methacrylate) Nanometer-Thick Films for Nanostructure Fabrication
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Veröffentlicht in: | ACS applied nano materials 2022-07, Vol.5 (7), p.9818-9828 |
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Hauptverfasser: | , , , , , , , , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Online-Zugang: | Volltext |
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ISSN: | 2574-0970 2574-0970 |
DOI: | 10.1021/acsanm.2c02013 |