Bottom-Up Design of a Supercycle Recipe for Atomic Layer Deposition of Tunable Indium Gallium Zinc Oxide Thin Films

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	ACS applied electronic materials 2024-07
Hauptverfasser:	Morales, Carlos, Plate, Paul, Marth, Ludwig, Naumann, Franziska, Kot, Małgorzata, Janowitz, Christoph, Kus, Peter, Zoellner, Marvin Hartwig, Wenger, Christian, Henkel, Karsten, Flege, Jan Ingo
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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