Demonstration of Bixbyite-Structured δ-Ga 2 O 3 Thin Films Using β-Fe 2 O 3 Buffer Layers by Mist Chemical Vapor Deposition

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	ACS applied electronic materials 2023-03, Vol.5 (3), p.1715-1720
Hauptverfasser:	Kato, Takahiro, Nishinaka, Hiroyuki, Shimazoe, Kazuki, Kanegae, Kazutaka, Yoshimoto, Masahiro
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!