Low-Energy He + Ions Induced Functionalization of the MoS 2 Surface for ALD HfO 2 Growth Enhancement

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of physical chemistry. C 2023-08, Vol.127 (34), p.17014-17020
Hauptverfasser:	Kozodaev, Maxim G., Lebedinskii, Yury Yu, Zabrosaev, Ivan V., Romanov, Roman I., Yakubovsky, Dmitry I., Novikov, Sergey M., Tatmyshevskiy, Mikhail K., Volkov, Valentyn S., Markeev, Andrey M.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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