Comparative In Situ Study of the Initial Growth Trends of Atomic Layer-Deposited Al 2 O 3 Films

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of physical chemistry. C 2022-04, Vol.126 (16), p.7036-7046
Hauptverfasser:	Saare, Holger, Dianat, Golnaz, Parsons, Gregory N.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!