Atomic Layer Deposition of Pt Thin Films Using Dimethyl ( N , N -Dimethyl-3-Butene-1-Amine- N ) Platinum and O 2 Reactant

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Chemistry of materials 2019-07, Vol.31 (14), p.5056-5064
Hauptverfasser:	Lee, Woo-Jae, Wan, Zhixin, Kim, Chang-Min, Oh, Il-Kwon, Harada, Ryosuke, Suzuki, Kazuharu, Choi, Eun-Ae, Kwon, Se-Hun
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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