Correction to Atomic Layer Deposition of Ruthenium and Ruthenium Oxide Using a Zero Oxidation State Precursor

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Chemistry of materials 2018-12, Vol.30 (24), p.8983-8984
Hauptverfasser:	Austin, Dustin Z, Jenkins, Melanie A, Allman, Derryl, Hose, Sallie, Price, David, Dezelah, Charles L, Conley, John F
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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