1,5-Pentanediol as an Oxygen Precursor for Atomic Layer Deposition of Zinc Oxide Thin Films

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Chemistry of materials 2017-04, Vol.29 (8), p.3371-3374
Hauptverfasser:	Han, Seung-Joo, Shin, Seokhee, Kim, Sungjoon, Ko, Dong-Hyun, Jin, Zhenyu, Lee, Sun Young, Min, Yo-Sep
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!