Low Temperature Thermal Atomic Layer Deposition of Cobalt Metal Films

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Chemistry of materials 2016-02, Vol.28 (3), p.700-703
Hauptverfasser:	Klesko, Joseph P, Kerrigan, Marissa M, Winter, Charles H
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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