Synthesis of Micron-Sized WS 2 Crystallites Using Atomic Layer Deposition and Sulfur Annealing

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Chemistry of materials 2023-06, Vol.35 (12), p.4649-4659
Hauptverfasser:	Mullapudi, Kamesh, Addou, Rafik, Dezelah, Charles. L., Moser, Daniel F., Kanjolia, Ravindra K., Woodruff, Jacob H., Conley, John. F.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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