Plasma-Enhanced Molecular Layer Deposition of Phosphane–Ene Polymer Films

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Chemistry of materials 2023-02, Vol.35 (4), p.1579-1585
Hauptverfasser:	Lomax, Justin T., Goodwin, Eden, Gordon, Peter G., McGuiness, Christine, De Campo, Floryan, Barry, Seán T., Ragogna, Paul J.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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