Dysprosium Incorporation for Phase Stabilization of Atomic-Layer-Deposited HfO 2 Thin Films

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Chemistry of materials 2023-03, Vol.35 (6), p.2312-2320
Hauptverfasser:	Lee, Yujin, Kim, Kangsik, Lee, Zonghoon, Lee, Hong-Sub, Lee, Han-Bo-Ram, Kim, Woo-Hee, Oh, Il-Kwon, Kim, Hyungjun
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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