High-Temperature Annealing Assisted High-Quality Semipolar (112̅2) AlN Film for Vacuum Ultraviolet Detectors

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Crystal growth & design 2023-12, Vol.23 (12), p.9058-9065
Hauptverfasser:	Gao, Yaqi, Yang, Jiankun, Wang, Lulu, Duo, Yiwei, Huo, Ziqiang, Ran, Junxue, Wang, Junxi, Wei, Tongbo
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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