Thermodynamic Analysis of Hybrid Chemical Vapor Deposition of Transition-Metal-Alloyed Group-III-Nitride ScAlN Piezoelectric Semiconductor Films

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Crystal growth & design 2022-04, Vol.22 (4), p.2239-2247
Hauptverfasser:	Moradnia, Mina, Pouladi, Sara, Chen, Jie, Kim, Nam-In, Aigbe, Onosetale, Ryou, Jae-Hyun
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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