Low-Temperature Dopant-Assisted Crystallization of HfO 2 Thin Films

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Crystal growth & design 2021-11, Vol.21 (11), p.6411-6416
1. Verfasser:	Gougousi, Theodosia
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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