Determination of the Absolute Thickness of Ultrathin Al 2 O 3 Overlayers on Si (100) Substrate

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Analytical chemistry (Washington) 2009-10, Vol.81 (20), p.8519-8522
Hauptverfasser:	Kim, Kyung Joong, Jang, Jong Shik, Lee, Joo-Hee, Jee, Yun-Jung, Jun, Chung-Sam
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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