Characterization of multilayer thin films by laser-induced thermal desorption mass spectrometry

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Analytical chemistry (Washington) 1987-12, Vol.59 (24), p.2924-2927
Hauptverfasser:	Land, Donald P, Tai, Tsong Lin, Lindquist, John M, Hemminger, John C, McIver, Robert T
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Analytical chemistry Chemistry Exact sciences and technology Spectrometric and optical methods
Online-Zugang:	Volltext
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