Accretion Detection via Scanning Acoustic Microscopy in Microelectronic Components - Considering Symmetry Breaking Effects

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Microscopy and microanalysis 2017-07, Vol.23 (S1), p.1466-1467
Hauptverfasser:	Grünwald, Eva, Hammer, René, Rose, Jördis, Sartory, Bernhard, Brunner, Roland
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Characterization of Semiconductor Materials and Devices Physical Science Symposia
Online-Zugang:	Volltext
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