Toward Automated S/TEM Metrology of Advanced CMOS Devices: Journey to Obtain a Precise and Accurate Measurement

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Microscopy and microanalysis 2017-07, Vol.23 (S1), p.1460-1461
Hauptverfasser:	Weng, Weihao, Tan, Haiyan, Katnani, Ahmad
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Characterization of Semiconductor Materials and Devices Physical Science Symposia
Online-Zugang:	Volltext
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