A Novel Method for Higher Order Aberration Correction in Electron Microscopes

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Veröffentlicht in:Microscopy and microanalysis 2017-07, Vol.23 (S1), p.472-473
Hauptverfasser: Hoque, Shahedul, Ito, Hiroyuki, Takaoka, Akio, Nishi, Ryuji
Format: Artikel
Sprache:eng
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:1431-9276
1435-8115
DOI:10.1017/S143192761700304X