Effect of methane and acetylene pre-gases on the corrosion resistance of DLC coatings

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Vacuum 2024-03, Vol.221, p.112899, Article 112899
Hauptverfasser:	Song, Jie, Tian, Haiping, Li, Junzhou, Zhang, Pengjiao, Sun, An
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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