Design and fabrication of ordered silicon micro/nano-hybrid hierarchical structures decorated by silica thin layer for superantiwetting surface

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Vacuum 2024-02, Vol.220, p.112851, Article 112851
Hauptverfasser: Yao, Chuhao, Zhang, Xiaomeng, Lu, Cheng, Liu, Yu, Yang, Yang, Li, Hailiang, Xie, Changqing
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0042-207X
DOI:10.1016/j.vacuum.2023.112851