In-situ thermal cleaning of the sapphire substrate and temperature effect on epitaxial AlN

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Vacuum 2022-11, Vol.205, p.111455, Article 111455
Hauptverfasser:	Koçak, Merve Nur, Yolcu, Gamze, Horoz, Sabit, Altuntaş, İsmail, Demir, İlkay
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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