Controlled autocrystallization in magnetron co-sputtered Si–Al films

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Vacuum 2022-09, Vol.203, p.111304, Article 111304
Hauptverfasser:	Serdobintsev, A.A., Galushka, V.V., Volkovoynova, L.D., Kozhevnikov, I.O., Prikhozhdenko, E.S., Artyukhov, D.I., Gorshkov, N.V., Pavlov, A.M., Starodubov, A.V.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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