Multifactorial investigations of the deposition process – Material property relationships of ZnO:Al thin films deposited by magnetron sputtering in pulsed DC, DC and RF modes using different targets for low resistance highly transparent films on unheated substrates
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Veröffentlicht in: | Vacuum 2022-09, Vol.203, p.111299, Article 111299 |
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Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Online-Zugang: | Volltext |
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ISSN: | 0042-207X |
DOI: | 10.1016/j.vacuum.2022.111299 |