$Surface stress release in AlCrN coatings determined by synchrotron radiation multi-reflection grazing-incidence X-ray diffraction$

Surface stress release in AlCrN coatings determined by synchrotron radiation multi-reflection grazing-incidence X-ray diffraction

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Thin solid films 2023-12, Vol.787, p.140142, Article 140142
Hauptverfasser:	Fang, Wei, Chen, Junkai, Cai, Fei, Chai, Ze, Ba, Fahai
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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