Study of the temporal stability of the reflection coefficient in the vicinity of 58.4 nm of narrow-band Sc/Al mirrors with Si or ScN interlayers and a MoSi2 protective cap layer

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Thin solid films 2023-10, Vol.783, p.140047, Article 140047
Hauptverfasser:	Chkhalo, N.I., Drozdov, M.N., Lopatin, A.Ya, Luchin, V.I., Salashchenko, N.N., Zuev, S.Yu, Tsybin, N.N.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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