Surface topography affects the nanoindentation data

Surface topography affects the nanoindentation data

•Characterization of grainy structure by cyclic nanoindentation, where Rtip

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Thin solid films 2022-03, Vol.745, p.139105, Article 139105
Hauptverfasser: Plichta, Tomas, Zahradnicek, Radim, Cech, Vladimir
Format: Artikel
Sprache:eng
Schlagworte:
Atomic force microscopy
Hardness
Mechanical properties
Modulus of elasticity
Nanoindentation
Plasma-enhanced chemical vapour deposition
Surface topography
Thin film
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Beschreibung
Zusammenfassung:•Characterization of grainy structure by cyclic nanoindentation, where Rtip
ISSN:0040-6090
1879-2731
DOI:10.1016/j.tsf.2022.139105