Comprehensive investigation of Er2O3 thin films grown with different ALD approaches

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Surfaces and interfaces 2022-11, Vol.34, p.102377, Article 102377
Hauptverfasser:	Khomenkova, L., Merabet, H., Chauvat, M.-P., Frilay, C., Portier, X., Labbe, C., Marie, P., Cardin, J., Boudin, S., Rueff, J.-M., Gourbilleau, F.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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