Modeling the impact of incomplete conformality during atomic layer processing

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Solid-state electronics 2024-01, Vol.211, p.108816, Article 108816
Hauptverfasser:	Reiter, Tobias, Aguinsky, Luiz Felipe, Rodrigues, Frâncio, Weinbub, Josef, Hössinger, Andreas, Filipovic, Lado
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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