The effect of DUV-O2 doping on WSe2 FET for sensing applications: Experimental and theoretical approach
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Veröffentlicht in: | Micro and nanostructures (2022) 2022-03, Vol.163, p.107127, Article 107127 |
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Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Online-Zugang: | Volltext |
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ISSN: | 2773-0123 2773-0123 |
DOI: | 10.1016/j.spmi.2021.107127 |