Introduction of dislocation filtering with different ammonia flows in low-temperature grown AlN (< 1200 °C)

Introduction of dislocation filtering with different ammonia flows in low-temperature grown AlN (< 1200 °C)

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Micro and nanostructures (2022) 2023-11, Vol.183, p.207671, Article 207671
Hauptverfasser: Yusuf, Yusnizam, Md Taib, Muhamad Ikram, Azmi, Nor Syafiqah, Ahmad, Mohd Anas, Zainal, Norzaini
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:2773-0123
2773-0123
DOI:10.1016/j.micrna.2023.207671