Optimization and fabrication of MEMS based piezoelectric acoustic sensor for wide frequency range and high SPL acoustic application

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Micro and nanostructures (2022) 2023-07, Vol.179, p.207592, Article 207592
Hauptverfasser:	Kumar, Ashish, Varghese, Arathy, Sharma, Girraj, Kumar, Manish, K Sharma, Gaurav, Prasad, Mahanth, Janyani, Vijay, Yadav, R.P., Elgaid, Khaled
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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