Influence of AlN/ScAlN piezoelectric multilayer on the electromechanical coupling of FBAR

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Micro and nanostructures (2022) 2023-02, Vol.174, p.207472, Article 207472
Hauptverfasser:	Yang, Qi-Wei, Lin, Re-Ching, Sun, Shih-Jye
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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