Characterization of single crystal diamond damaged layer induced by ion implantation and restored by varying annealing conditions

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Micro and nanostructures (2022) 2022-12, Vol.172, p.207442, Article 207442
Hauptverfasser:	Fu, Jiao, Lu, Qin, Li, Guo, Li, Fengnan, Wang, Fei, Wang, Ruo-Zheng, Zhu, Tian-Fei, Liu, Zongchen, Chen, Daming, Abdisa, Garuma, Wang, Hong-Xing
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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