Magnetron configurations dependent room temperature sputtered ZnO thin films for highly responsive, stable, and selective CO gas sensing
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Veröffentlicht in: | Materials letters 2024-02, Vol.357, p.135787, Article 135787 |
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Hauptverfasser: | , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Online-Zugang: | Volltext |
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ISSN: | 0167-577X |
DOI: | 10.1016/j.matlet.2023.135787 |