Magnetron configurations dependent room temperature sputtered ZnO thin films for highly responsive, stable, and selective CO gas sensing

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Materials letters 2024-02, Vol.357, p.135787, Article 135787
Hauptverfasser: Godiwal, Rahul, Kumar Gangwar, Amit, Singh, Preetam
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0167-577X
DOI:10.1016/j.matlet.2023.135787