Surface modification of SiC substrates via direct fluorination to promote adhesion of electroless-deposited Ni film

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of fluorine chemistry 2022-09, Vol.261-262, p.110012, Article 110012
Hauptverfasser:	Namie, Masanari, Nishimura, Fumihiro, Kim, Jae-Ho, Yonezawa, Susumu
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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