A cost-effective approach for transitioning to larger wafer production by small Czochralski pullers

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of crystal growth 2024-02, Vol.628, p.127563, Article 127563
Hauptverfasser:	Huang, Yi-Jen, Ansari Dezfoli, Amir Reza
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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