Effects of deposited particle energy on the structure and properties of diamond-like carbon films

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Diamond and related materials 2024-01, Vol.141, p.110671, Article 110671
Hauptverfasser:	Tian, Haiping, Jie, Song, Zhang, Pengjiao, Li, Junzhou, An, Sun
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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