Effect of phosphorus ion implantation on electrical conductivity and local lattice distortions in diamond

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Diamond and related materials 2022-10, Vol.128, p.109212, Article 109212
Hauptverfasser:	Das, Dhruba, Rao, M.S. Ramachandra
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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