Similarity searching for fault diagnosis of defect patterns in wafer bin maps

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Computers & industrial engineering 2023-11, Vol.185, p.109679, Article 109679
Hauptverfasser:	Wang, Rui, Wang, Songhao
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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