Cluster ion bombardment and depth profiling of parylene C using Ar vs O2 gas cluster ion beams

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Applied surface science 2025-01, p.162282, Article 162282
Hauptverfasser:	Mahoney, Christine M., Adib, Kaveh, Yongsunthon, Ruchi
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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