Surface chemical composition and HRTEM analysis of heteroepitaxial β-Ga2O3 films grown by MOCVD

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Veröffentlicht in:	Applied surface science 2024-04, Vol.652, p.159327, Article 159327
Hauptverfasser:	Li, Zeming, Jiao, Teng, Li, Wancheng, Wang, Zengjiang, Chang, Yuchun, Shen, Rensheng, Liang, Hongwei, Xia, Xiaochuan, Zhong, Guoqiang, Cheng, Yu, Meng, Fanlong, Dong, Xin, Zhang, Baolin, Ma, Yan, Du, Guotong
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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