Low-energy ion beam erosion of Si with simultaneous co-deposition of metallic surfactants: Experimental and simulated data

Low-energy ion beam erosion of Si with simultaneous co-deposition of metallic surfactants: Experimental and simulated data

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Applied surface science 2024-02, Vol.646, p.158923, Article 158923
Hauptverfasser: Linß, F., Bundesmann, C., Frost, F.
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0169-4332
DOI:10.1016/j.apsusc.2023.158923