Facilitated fluorination and etching of 2D materials

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Applied surface science 2024-02, Vol.645, p.158857, Article 158857
Hauptverfasser:	Shin, Yongjun, Shin, Subin, Sung, Dongchul, Cha, Janghwan, Choi, Hyeong-Kyu, Jeong, Yunjo, Ji Im, Min, Hui Kim, Yang, Ahn, Seokhoon, Bae, Sukang, Lim, Joonwon, Han, Edmund, Huang, Pinshane Y., van der Zande, Arend M., Hong, Suklyun, Lee, Gwan-Hyoung, Son, Jangyup
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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