Polymerization mechanisms of hexamethyldisiloxane in low-pressure plasmas involving complex geometries

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Applied surface science 2024-02, Vol.645, p.158824, Article 158824
Hauptverfasser:	Navascués, Paula, Buchtelová, Martina, Zajícková, Lenka, Rupper, Patrick, Hegemann, Dirk
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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