A Tri-axial Resonating Beam MEMS Accelerometer

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of electrical engineering & technology 2024-07
Hauptverfasser:	Yadav, Chinmay, Srinivasulu Raju, S, Yenuganti, Sujan
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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