Parylene C-AlN Multilayered Thin-Film Passivation for Organic Light-Emitting Diode Using a Single Deposition Chamber
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Veröffentlicht in: | Electronic materials letters 2020-09, Vol.16 (5), p.466-472 |
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Hauptverfasser: | , , , , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Online-Zugang: | Volltext |
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Zusammenfassung: | |
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ISSN: | 1738-8090 2093-6788 |
DOI: | 10.1007/s13391-020-00236-x |